德國海德漢heidenhain編碼器技術參數(shù)
海德漢公司的光學掃描光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線－光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條，典型柵距40 µm。METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線，典型柵距20 µm。DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8 µm）。SUPRADUR相位光柵：光學三維平面格柵線條；*抗污能力；典型柵距不超過8 µm。OPTODUR相位光柵：光學三維平面格柵線條，超高反光性能，典型柵距不超過2 µm這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。測量法是指編碼器通電時就立即提供位置值并隨時供后續(xù)信號處理電子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零操作。位置信息來自圓光柵碼盤，它由一系列碼組成。編碼結構在每轉中都*。獨立的增量刻軌用單場掃描原理讀取和轉換成位置值。

增量測量法的光柵由周期性刻線組成。位置信息通過計算自某點開始的增量數(shù)（測量步距數(shù)）獲得。由于必須用參考點確定位置值，因此在光柵尺或光柵尺帶上還刻有一個帶參考點的軌道。參考點確定的光柵尺位置值可以到一個測量步距。因此，必須通過掃描參考點建立基準點或確定上次選擇的原點。有時，這需要旋轉近360°。為加快和簡化“參考點回零”操作，許多海德漢光柵尺刻有距離編碼參考點，這些參考點彼此相距數(shù)學算法確定的距離。移過兩個相鄰參考點后（一般只需數(shù)度）（見表中“名義增量值 I”），后續(xù)電子電路就能找到參考點。 

大多數(shù)海德漢公司的光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。光電掃描測量基準是非接觸式掃描，因此無磨損。這種光電掃描方法能檢測到非常細的線條，通常不超過幾微米寬，而且能生成信號周期很小的輸出信號。測量基準的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴重。海德漢公司的角度編碼器采用兩種掃描原理：成像掃描原理用于10 µm至大約70 µm的柵距。干涉掃描原理用于4 µm極小柵距的光柵。光電掃描成像掃描原理簡單地說成像掃描原理是用透射光生成信號：兩個具有相同柵距的光柵—圓光柵碼盤與掃描掩膜—彼此相對運動。掃描掩膜的基體是透明的，而作為測量基準的光柵可以是透明的也可以是反射的。當平行光穿過一個光柵時，在一定距離處形成明/暗區(qū)。具有相同柵距的掃描光柵就位于這個位置處。當兩個光柵相對運動時，穿過光柵的光得到調(diào)制。如果狹縫對齊，則光線穿過。如果一個光柵的刻線與另一個光柵的狹縫對齊，光線無法通過。
光電池或大面積柵狀光電池將這些光強變化轉化成電信號。特殊結構的掃描掩膜將光強調(diào)制為近正弦輸出信號。柵距越小，掃描掩膜和圓光柵間的距離公差也越嚴。如果對10 µm或更大柵距的編碼器進行成像掃描，允許的編碼器安裝公差相對較大。RCN、ECN、RON、ROD系列內(nèi)置軸承角度編碼器采用成像掃描原理。

干涉掃描原理是利用精細光柵的衍射和干涉形成位移的測量信號。階梯狀光柵用作測量基準：高度0.2 µm的反光線刻在平整的反光面中。光柵尺帶的前方是掃描掩膜，其柵距與光柵尺帶的柵距相同，是透射相位光柵。光波照射到掃描掩膜時，光波被衍射為三束光強近似的光：-1、0和+1。光柵尺帶衍射的光波中，反射的衍射光中光強zui強的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇，又一次被衍射和干涉。它也形成三束光，并以不同的角度離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強信號轉化成電信號。

掃描掩膜與光柵尺的相對運動使*級的衍射光產(chǎn)生相位移：當光柵移過一個柵距時，前一級的+1衍射光在正方向上移過一個光波波長，-1衍射光在負方向上移過一個光波波長。由于這兩個光波在離開掃描光柵時將發(fā)生干涉，光波將彼此相對移動兩個光波波長。也就是說，相對移動一個柵距可以得到兩個信號周期。干涉掃描編碼器的平均柵距為4 m甚至更細。其掃描信號基本沒有高次諧波，能進行高倍頻細分。因此，這些光柵尺特別適用于高分辨率和高精度應用。盡管如此，其相對寬松的安裝公差使它可用于許多應用。RPN 886內(nèi)置軸承角度編碼器用干涉掃描原理工作。

海德漢為每個內(nèi)置軸承角度編碼器提供質(zhì)量檢驗證并隨編碼器一起提供。質(zhì)量檢驗證提供系統(tǒng)精度信息。它通過五次正轉與五次反轉測量確定。每圈中所選的測量位置不僅能非常準確地確定大范圍誤差，還能確定單信號周期內(nèi)的位置誤差。平均值曲線是測量值的算術平均值，不包括機械粘滯誤差。機械粘滯誤差取決于聯(lián)軸器。對于RCN、ECN、RPN和RPN定子聯(lián)軸器的角度編碼器，由正轉和反轉的10個測量位置決定。檢定圖中記錄zui大值和算術平均值。圓光柵碼盤與空心軸剛性連接。讀數(shù)頭固定在滾珠軸承的軸上并通過定子端的聯(lián)軸器連接外殼。定子聯(lián)軸器和密封系統(tǒng)能補償大量軸向和徑向安裝誤差，而且不限制功能，也不影響精度。它允許的安裝公差相對較大，因此安裝方便，RCN系列尤其如此。特別是軸進行角加速時，聯(lián)軸器必須只吸收軸承摩擦力引起的扭矩。因此，定子聯(lián)軸器的角度編碼器具有出色的動態(tài)性能。

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