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產(chǎn)品中心瑞士VATVAT閥瑞士VAT高壓擺式隔離閥16.2系列
瑞士VAT高壓擺式隔離閥16.2系列
產(chǎn)品簡介
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
|---|
瑞士VAT高壓擺式隔離閥16.2系列
型號系列：VAT 16.2
閥門類型：高壓擺式隔離閥（Swing Gate Valve）
設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
90°擺臂式啟閉機(jī)構(gòu)，比傳統(tǒng)閘閥節(jié)省50%空間
雙密封系統(tǒng)（主密封+應(yīng)急密封）
適用于高壓差（≤20 bar）與高真空（10?? mbar）交叉工況
| 參數(shù) | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|
| 壓力范圍 | 超高真空（10?? mbar）~ 20 bar（絕壓） |
| 溫度范圍 | -30°C ~ +150°C（標(biāo)準(zhǔn)）/ +250°C（高溫版） |
| 漏率 | <1×10?? mbar·l/s（金屬密封） |
| 閥體材質(zhì) | 316L不銹鋼（可選哈氏合金C-276） |
| 密封材質(zhì) | 全金屬密封（金/銅）或氟橡膠（FKM） |
| 驅(qū)動方式 | 氣動（標(biāo)準(zhǔn)）/ 電動（可選步進(jìn)電機(jī)） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <1秒（DN100口徑） |
| 法蘭標(biāo)準(zhǔn) | ISO-KF/CF/DN，ANSI 150#~300# |
① 擺臂設(shè)計(jì)
采用VAT的"Soft-Touch"技術(shù)，減少顆粒產(chǎn)生（<5 particles/cm3 @0.3μm）
比傳統(tǒng)閘閥磨損降低70%（壽命>500,000次循環(huán)）
② 雙冗余密封系統(tǒng)
主密封：金屬密封（標(biāo)準(zhǔn)工況）
應(yīng)急密封：可快速激活的彈性體密封（突發(fā)壓力波動時(shí)自動觸發(fā)）
③ 智能診斷接口
集成閥位傳感器（精度±0.1°）
支持預(yù)測性維護(hù)（通過振動/溫度監(jiān)測密封狀態(tài)）
| 行業(yè) | 典型應(yīng)用 | 定制要求 |
|---|---|---|
| 半導(dǎo)體 | 刻蝕機(jī)腔室隔離 | Al?O?鍍層，耐Cl?腐蝕 |
| 能源 | 聚變裝置真空隔離 | 無磁化設(shè)計(jì)（鈦合金組件） |
| 化工 | 高壓反應(yīng)釜進(jìn)料控制 | 哈氏合金閥體，耐酸堿 |
| 科研 | 同步輻射光束線 | 超高真空兼容（烘烤至250°C） |
| 型號示例 | DN口徑 | 壓力等級 | 密封類型 | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| VAT 16.2-100-M | DN100 | 10 bar | 金屬密封 | 半導(dǎo)體設(shè)備 |
| VAT 16.2-150-H | DN150 | 20 bar | 哈氏合金密封 | 化工高壓反應(yīng) |
| VAT 16.2-80-XHV | DN80 | 真空專用 | 雙金屬密封 | EUV光刻機(jī) |
安裝規(guī)范：
需使用扭矩扳手（法蘭螺栓扭矩見下表）
使用前進(jìn)行3次壓力循環(huán)測試（0~20 bar）
| 法蘭標(biāo)準(zhǔn) | 螺栓扭矩（Nm） | 緊固順序 |
|---|---|---|
| DN100 ISO-KF | 12~15 | 十字交叉法 |
| 4" ANSI 150# | 60~75 | 星型漸進(jìn)式 |
維護(hù)計(jì)劃：
每月：檢查擺臂樞軸潤滑狀態(tài)
每6個(gè)月：氦質(zhì)譜檢漏測試
每5年：更換主密封組件（原廠維修包）
交期參考：
標(biāo)準(zhǔn)型號：8~12周
定制型號：14~18周
通過SEMI F47（電壓暫降免疫）
符合ASME BPE-2019生物工藝標(biāo)準(zhǔn)
CE/PED 2014/68/EU認(rèn)證
ISO 15848-1低泄漏認(rèn)證
商品編號16248-PH41商品編號16250-TA21商品編號16254-PA48商品編號16246-JA21
商品編號16246-PA48商品編號16251-JA41商品編號16248-PA21商品編號16255-JA28
商品編號16252-PA28商品編號16255-JA21商品編號16252-JA41商品編號16252-PA21
商品編號16246-TA48商品編號16250-PA21商品編號16246-PA41商品編號16250-JA41
商品編號16254-PA41商品編號16248-PA28商品編號16246-TA41商品編號16250-JA48
商品編號16250-PA28商品編號16248-PA41商品編號16254-JA41商品編號16251-JA28
商品編號16248-PA48商品編號16250-TA41商品編號16248-JA21商品編號16246-JA48
商品編號16246-PA28商品編號16251-JA21商品編號16252-JA28商品編號16252-PA48
商品編號16255-JA41商品編號16252-JA21商品編號16252-PA41商品編號16246-TA28
商品編號16250-PA48商品編號16250-TA48商品編號16248-JA28商品編號16246-JA41
商品編號16250-PA41商品編號16246-PA21商品編號16246-TA21商品編號16250-JA21
商品編號16250-JA28
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