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瑞士VAT-77.1 - 超高真空快速關(guān)閉擋板 77.1 超高真空快速關(guān)閉擋板在壓力上升時具有快速的關(guān)閉反應(yīng)，可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)（具體取決于擋板直徑）以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉擋板會幾乎立即將空氣涌入減少至 mbar l/s 級別。這為啟動全金屬閥門留了時間，全金屬閥門用于殘留泄漏的密封。防止損壞是分秒必爭的，因此，77.1 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

瑞士VA超高真空快速關(guān)閉閥75.0/75.2 對快速關(guān)閉閥的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失（尤其是加速器或儲存環(huán)等大體量的損失），可能造成嚴(yán)重的污染問題并且需投入精力來恢復(fù)所需真空水平。

瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列 高過程壓力、低流量腐蝕性蝕刻應(yīng)用的理想之選 65.5 高真空控制擺閥可提供高度可控的流導(dǎo)譜。由于其平穩(wěn)的打開和關(guān)閉運(yùn)動，粒子數(shù)和粒子生成水平極低，這也是其主要特點(diǎn)。 該閥門專為嚴(yán)苛工藝設(shè)計，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的腐蝕性刻蝕和清潔應(yīng)用，在這些應(yīng)用中，當(dāng)初始可控流導(dǎo)較低時，需要高度可控的流導(dǎo)譜。

瑞士VAT高真空控壓擺閥65.3系列 可優(yōu)化半導(dǎo)體與顯示器系統(tǒng)中的下游壓力控制和隔離 65.3 控壓擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供高水平的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可提供改進(jìn)功能。

瑞士VAT大型高壓擺式隔離閥16.8系列 16.8大型高真空擺式隔離閥在惡劣的工藝條件下也能提供可靠的隔離性能。它是大流量應(yīng)用中隔離要求的理想選擇，如大型涂層或顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)。因此，它提供了DN400和500mm的規(guī)格。16.8閥門提供可選的3位氣動或標(biāo)準(zhǔn)氣動，均為雙作用。

瑞士VAT高壓擺式隔離閥16.2系列 產(chǎn)品概述 型號系列：VAT 16.2 閥門類型：高壓擺式隔離閥（Swing Gate Valve） 設(shè)計特點(diǎn)： 90°擺臂式啟閉機(jī)構(gòu)，比傳統(tǒng)閘閥節(jié)省50%空間 雙密封系統(tǒng)（主密封+應(yīng)急密封） 適用于高壓差（≤20 bar）與高真空（10?? mbar）交叉工況